मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कैसे काम करता है?
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग एक भौतिक वाष्प जमाव (PVD) विधि है, जो पतली फिल्मों और कोटिंग्स के निर्माण के लिए वैक्यूम जमाव प्रक्रियाओं का एक वर्ग है।
"मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग" नाम मैग्नेट्रोन स्पटर डिपोजिशन प्रक्रिया में आवेशित आयन कणों के व्यवहार को नियंत्रित करने के लिए चुंबकीय क्षेत्रों के उपयोग से उत्पन्न होता है।स्पटरिंग के लिए कम दबाव वाला वातावरण बनाने के लिए प्रक्रिया को एक उच्च निर्वात कक्ष की आवश्यकता होती है।गैस जिसमें प्लाज्मा होता है, आमतौर पर आर्गन गैस, पहले कक्ष में प्रवेश करती है।
अक्रिय गैस के आयनीकरण को आरंभ करने के लिए कैथोड और एनोड के बीच एक उच्च नकारात्मक वोल्टेज लगाया जाता है।प्लाज्मा से धनात्मक आर्गन आयन ऋणात्मक रूप से आवेशित लक्ष्य सामग्री से टकराते हैं।उच्च ऊर्जा कणों की प्रत्येक टक्कर लक्ष्य सतह से परमाणुओं को निर्वात वातावरण में बाहर निकालने और सब्सट्रेट की सतह पर आगे बढ़ने का कारण बन सकती है।
एक मजबूत चुंबकीय क्षेत्र लक्ष्य सतह के पास इलेक्ट्रॉनों को सीमित करके, जमाव की दर को बढ़ाकर और आयन बमबारी से सब्सट्रेट को नुकसान को रोककर उच्च प्लाज्मा घनत्व पैदा करता है।अधिकांश सामग्रियां स्पटरिंग प्रक्रिया के लिए एक लक्ष्य के रूप में कार्य कर सकती हैं क्योंकि मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग सिस्टम को स्रोत सामग्री के पिघलने या वाष्पीकरण की आवश्यकता नहीं होती है।
उत्पाद पैरामीटर
उत्पादों का नाम | शुद्ध टाइटेनियम लक्ष्य |
श्रेणी | जीआर 1 |
पवित्रता | अधिक 99.7% |
घनत्व | 4.5 ग्राम/सेमी3 |
Moq | 5 टुकड़े |
गर्म बिक्री का आकार | Φ95 * 40 मिमी Φ98 * 45 मिमी Φ100 * 40 मिमी Φ128 * 45 मिमी |
आवेदन पत्र | पीवीडी मशीन के लिए कोटिंग |
स्टॉक का आकार | Φ98 * 45 मिमी Φ100 * 40 मिमी |
अन्य उपलब्ध लक्ष्य | मोलिब्डेनम (मो) क्रोम (सीआर) TiAl कॉपर (घन) जिरकोनियम (Zr) |
आवेदन पत्र
■कोटिंग एकीकृत सर्किट।
■फ्लैट पैनल और अन्य घटकों का भूतल पैनल प्रदर्शित करता है।
■सजावट और कांच कोटिंग, आदि
हम कौन से उत्पाद बना सकते हैं
■उच्च शुद्धता टाइटेनियम फ्लैट लक्ष्य (99.9%, 99.95%, 99.99%)
■आसान इंस्टालेशन के लिए स्टैंडर्ड थ्रेडेड कनेक्शन (M90, M80)
■स्वतंत्र उत्पादन, सस्ती कीमत (गुणवत्ता नियंत्रणीय)
आदेश की जानकारी
पूछताछ और आदेशों में निम्नलिखित जानकारी शामिल होनी चाहिए:
■ व्यास, ऊँचाई (जैसे Φ100 * 40 मिमी)।
■ थ्रेड आकार (जैसे एम 90 * 2 मिमी)।
■ मात्रा।
■ शुद्धता की मांग।